Mae sylweddau anweddu fel metelau, cyfansoddion, ac ati yn cael eu rhoi yn y crogwydd neu eu hongian ar y gwifren poeth fel ffynhonnell anweddu, a rhoddir swbstradau i'w platio fel metelau, cerameg, plastigau, ac ati o flaen y croesglud. Ar ôl i'r system gael ei bwmpio i wactod uchel, anweddir y deunydd trwy wresogi'r crogwydd. Mae'r atomau neu'r moleciwlau o'r deunydd anweddedig yn cael eu hadneuo ar wyneb yr is-haen mewn modd cywasgedig. Gall trwch ffilm amrywio o gannoedd o angstromau i sawl micron. Penderfynir ar y trwch ffilm gan gyfradd anweddu ac amser y ffynhonnell anweddiad (neu yn dibynnu ar faint y tâl) ac mae'n gysylltiedig â'r pellter rhwng y ffynhonnell a'r is-haen. Ar gyfer gorchuddio ardal fawr, defnyddir is-ddŵr cylchdroi neu ffynonellau anweddu lluosog i sicrhau unffurfiaeth y trwch ffilm. Dylai'r pellter o'r ffynhonnell anweddu i'r is-haen fod yn llai na llwybr cymedrig rhydd y moleciwlau anwedd yn y nwy gweddilliol fel na fydd moleciwlau anwedd yn gwrthdaro â moleciwlau nwy gweddilliol i achosi adweithiau cemegol. Mae egni cinetig cyfartalog moleciwlau anwedd tua 0.1-0.2 folt electron.
Mae sylweddau anweddu fel metelau, cyfansoddion, ac ati yn cael eu rhoi yn y crogwydd neu eu hongian ar y gwifren poeth fel ffynhonnell anweddu, a rhoddir swbstradau i'w platio fel metelau, cerameg, plastigau, ac ati o flaen y croesglud. Ar ôl i'r system gael ei bwmpio i wactod uchel, anweddir y deunydd trwy wresogi'r crogwydd. Mae'r atomau neu'r moleciwlau o'r deunydd anweddedig yn cael eu hadneuo ar wyneb yr is-haen mewn modd cywasgedig. Gall trwch ffilm amrywio o gannoedd o angstromau i sawl micron. Penderfynir ar y trwch ffilm gan gyfradd anweddu ac amser y ffynhonnell anweddiad (neu yn dibynnu ar faint y tâl) ac mae'n gysylltiedig â'r pellter rhwng y ffynhonnell a'r is-haen. Ar gyfer gorchuddio ardal fawr, defnyddir is-ddŵr cylchdroi neu ffynonellau anweddu lluosog i sicrhau unffurfiaeth y trwch ffilm. Dylai'r pellter o'r ffynhonnell anweddu i'r is-haen fod yn llai na llwybr cymedrig rhydd y moleciwlau anwedd yn y nwy gweddilliol fel na fydd moleciwlau anwedd yn gwrthdaro â moleciwlau nwy gweddilliol i achosi adweithiau cemegol. Mae egni cinetig cyfartalog moleciwlau anwedd tua 0.1-0.2 folt electron.
Mae yna dri math o ffynonellau anweddu. (1) Ffynhonnell wresogi gwrthsefyll: Defnyddir metel anhydrin fel twngsten neu tantalwm i ffurfio ffoil cwch neu ffilament, sy'n cael ei gynhesu gan gyfredol trydan, wedi'i gynhesu uwchben hynny, neu ei osod mewn croeslyd (Ffigur 1 [Diagram sgil-effeithiau anweddiad cyfarpar cotio]). Defnyddir y ffynhonnell yn bennaf i anweddu Cd, Pb, Ag, Al, Cu, Cr, Au, Ni a deunyddiau eraill. 2 Ffynhonnell Gwresogi Sefydlu Amlder Uchel: Defnyddiwch gyfredol anwytho amlder uchel i wresogi heliwm a deunyddiau anweddedig. 3 Ffynhonnell wresogi trawst electron: Yn addas ar gyfer deunyddiau â thymheredd anweddu uchel (ddim llai na 2000 [618-1]), hynny yw, bomio'r deunydd gyda thraen electron i anweddu.