Ni all prosesu rhannau manwl gwblhau holl gynnwys prosesu pob arwyneb mewn un broses. Gellir rhannu'r broses beiriannu gyfan o brosesu rhannau manwl yn y camau canlynol:
(1) Llwyfan llwyfan. Mae'r rhan fwyaf o'r lwfansau peiriannu yn cael eu tynnu oddi ar bob un o'r arwynebau wedi'u peiriannu, ac mae cyfeiriadau cain yn cael eu gwneud. Y prif ystyriaeth yw cynyddu'r cynhyrchiant gymaint ag y bo modd.
(2) Cyfnod lled-orffen. Mae dileu diffygion a allai ddigwydd ar ôl peiriannu garw yn paratoi'r arwyneb ar gyfer gorffen peiriannu, yn gofyn am rywfaint o gywirdeb peiriannu, yn gwarantu lwfans gorffen priodol, ac yn cwblhau peiriannu arwynebau eilaidd ar yr un pryd.
(3) cam gorffen. Ar hyn o bryd, defnyddir cyflymder torri mawr, cyfradd bwydo bach, a dyfnder o dorri'r lwfans gorffen a adawyd gan y broses flaenorol, fel bod wyneb y rhan yn cyrraedd gofynion technegol y patrwm.
(4) cam gorffen. Fe'i defnyddir yn bennaf i leihau'r gwerth garw arwyneb neu gryfhau'r wyneb wedi'i beiriannu. Fe'i defnyddir yn bennaf ar gyfer prosesu wyneb gyda garw arwyneb uchel (ra≤0.32 μm).
Cam prosesu uwch-fanylder. Y manwldeb prosesu yw 0.1-0.01μm ac mae'r gwerth garw arwynebedd yn ≤ 0.001μm. Y prif ddulliau prosesu yw: torri manwl, mân drych manwl, malu manwl a chwistrellu, ac ati